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1. FNO-MOS型抛光液,国家科技发明四等奖。1983
2.硅器件衬底片滑移线消除技术,国家科技发明四等奖。1990
3.硅片无磨料均腐蚀FA/O抛光液,国家科技发明三等奖。1990
4.用化学方法提高固体表面光洁度的研究及应用,国家科技发明三等奖。1999
5.硅外延BC技术,国家科技发明三等奖。1987
6. ULSI纳米磨料化学机械全局平面化新技术,天津市技术发明一等奖,2001
7. FA/O半导体材料切削剂及技术的研究,天津市技术发明二等奖,2005
8.固体表面高精密加工技术及专用纳米材料,天津市技术发明二等奖,2006
9.国家级有突出级中青年专家,1988
10.河北省第七届人大代表,1988;
11.第九、十、十一届全国政协委员会委员,1998
12.全国高校科技先进工作者,;
13.国家科技中长期发展重大专项02专项项目组长,2009
14.河北省首届十大发明家,