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市微纳制造技术工程中心近日在“螺旋自由曲面”领域取得新突破,其表面粗糙度仅几个纳米,已达到世界先进水平。
随着微纳加工技术的发展,微电子器件的集成度越来越高,当器件工艺尺寸进入纳米领域时会遇到一些难以逾越的技术瓶颈。市微纳制造技术工程中心正是瞄准这一难点,刻苦攻关,填补了国内相关科技和产品空白。
市微纳制造技术工程中心坐落于天津开发区天大科技园。该中心依托天津大学及相关国家重点实验室成立的专业技术研发和公共服务平台,旨在通过自主研发相关软件、技术、工艺及装备,在光学透镜、反射镜、自由曲面元件、脆性材料复杂曲面零件等高精度以及微小元器件领域,突破国内相关行业关键件制造技术的瓶颈。据介绍,该中心一期核心平台已搭建完成,目前开始投入对工业界急需的关键技术研究,以摆脱国外在技术及装备上对我国的制约,从而实现从技术研究到设备制造的完整自主知识产权。
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