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国内最长的区熔硅单晶日前在天津的企业面世

http://www.enorth.com.cn  2002-05-20 09:15
 

 

  北方网消息: 国内最长的直径130毫米区熔硅单晶日前在本市环欧半导体材料技术有限公司成功面世,其长度达到了930毫米,这标志着本市的区熔硅单晶产品技术水平在国内处于领先水平。

  硅单晶是主要的半导体材料,根据生产方法的不同,分为直拉硅单晶和区熔硅单晶两大类。区熔硅单晶纯度高,晶格结构相对更完美,是大功率器件、探测器器件的主要材料。由于区熔法生产硅单晶设备复杂,原料昂贵,大直径化难度极大,目前153毫米直径是国际上区熔硅单晶的最大直径。国内目前只能生产76-104毫米直径的区熔硅单晶,130毫米直径的区熔硅单晶正处于试制阶段,直径130毫米长度达930毫米的区熔硅单晶创下了国内之最。

  本市环欧半导体技术有限公司是我国最早的半导体材料专业生产企业之一,去年企业区熔硅单晶系列产品产量达到8.63吨,占全国总产量30余吨的25%,成为全国区熔硅单晶产量最大的企业。1998年,该公司在国内首创了用直拉区熔法(CFZ法)生产硅单晶的技术,2000年公司又在全国率先成功开发出气相掺杂区熔硅单晶系列产品。今年3月,公司从丹麦引进目前国际上最先进、最大的FZ-30区熔炉,现已利用自己的技术生产出全球最长的直径76毫米区熔硅单晶(长2.2米),全球最长的直径104毫米区熔硅单晶(长度达1.5米)和全国最长的直径130毫米区熔硅单晶。

  据了解,我国飞船和卫星等航天太阳能电池硅片的85%以上份额由环欧半导体占有,1999年我国成功发射的第一艘载人实验飞船“神舟号”的电源系统上所使用的航天级太阳能电池硅片全部为该公司的产品。

  目前,环欧半导体材料技术有限公司正在试制直径153毫米的区熔硅单晶。(记者吴巧君 柳悦)

稿源 北方网 编辑 孙涛
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