天津北方网讯：通过近20年的默默耕耘，清华大学学术委员会副主任、清华大学天津电子信息研究院特聘院长黄翊东团队的科研成果“微纳结构光电子芯片关键制备工艺及应用”获得了2022年度天津市科学技术奖“技术发明特等奖”，他们跨材料体系工艺平台的人才梯队，也为我国光电芯片创新研究及产业发展起到了积极的推动作用。

黄翊东表示，想要出成果需要一个大的平台，需要一支队伍，需要一个很好的模式，而这些都要耐心地去打基础。在科研的道路上，黄翊东的团队始终把人才培养贯穿始终。培养了百余名毕业生，活跃在光电子芯片的创新研究和产业发展领域，其中多人已成为一流高校年轻的教授，活跃在创新研究的第一线；另有投身芯片产业发展的创业人才，创立了华慧芯、与光科技、光鉴科技、一径科技、海尔欣等光电芯片企业，总估值逾60亿，已成为推动我国光电芯片创新研究及产业发展的重要力量。

黄翊东教授团队围绕微纳结构光电特性的物理机理，研制出了多种类国际领先的技术和芯片。其中世界首款自由电子辐射芯片的成果入选了中国光学十大进展；世界首款光子晶体超光谱成像芯片，被国际顶刊Science的综述列为本领域最新进展，已发布产品的原型，也被韦尔半导体、海康威视采纳作为创新技术投入产品研发。从成果的应用和经济效益方面来看，此次成果技术发明及相关应用获得28项授权发明专利；产生直接经济效益1.5亿元。

在天津，该团队成立了专注芯片工艺的初创企业天津华慧芯科技集团有限公司，建立起了光电子微纳结构制备工艺平台。为500余个科研团队的创新研究和企业的新产品研发提供定制的芯片加工和工艺研发，已产生直接经济效益逾8000万元。在应用该平台加工制备微纳结构光电子芯片的用户中，有154家企业，其中39家光电子领域初创企业的总估值逾400亿；还有17家企业制备了54枚4吋晶圆微纳结构模板，用于面向批量产品的研发。（津云新闻编辑靳永锋）